R14制冷剂（四氟化碳，四氟甲烷，CF₄）

R-14制冷剂，别名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名称有Freon 14等，中文名称四氟化碳、四氟甲烷，英文名称Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，化学式CF₄，商品名称Reflube 14。R-14属于FC类物质——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应；目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。

R-14主要用途

R-14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、医用制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

R-14物化性质

R-14冷媒包装

可重复使用高压钢瓶包装（需回收包装钢瓶）：7kg/瓶，35kg/瓶。

R-14储存、运输

R-14制冷剂钢瓶为高压容器，储存时应远离火种、热源、避免阳光直接曝晒，通常储放于阴凉、干燥和通风的仓库内；搬运时应轻装、轻卸，防止钢瓶以及阀门等附件破损。

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